PATRONI ROBOTYKI:
 

TEORIA ROBOTYKI

2.3.4 MEMS

Są to zintegrowane układy elektro-mechaniczne, których co najmniej jeden wymiar znajduje się w skali mikro (0,1 – 100 μm). Zwykle wykonane są w krzemie lub szkle, ostatnio zaczęto używać także polimerów.  Techniki ich wykonania można podzielić na:

  • bezpośrednie – struktura jest wykonywana bezpośredni w elemencie (np. przy pomocy lasera),
  • pośrednie – do wykonania struktury wykorzystywany jest jakiegoś rodzaju szablon (np. w fotolitografii jest to maska).

Układy MEMS stosuje się jako czujniki:

  • przyspieszenia (akcelerometry),
  • ciśnienia,
  • wibracji,
  • przepływu,
  • żyroskopy,
  • pola magnetycznego.